Analisa XRD dan SEM pada Lapisan Tipis TiC setelah Uji Oksidasi

Abstract

Telah dilakukan uji oksidasi pada material grafit yang telah dilapisi TiC selama 4 menit di udara. Penelitian dilakukan pada sampel grafit yag dilapisi dengan TiC dengan menggunakan metode PIRAC pada suhu 950^oC selama 10 jam dalam atmosfer argon mengalir. Pengujian oksidasi dilakukan pada temperatur 980^oC di udara dengan waktu pengujian 4 menit dimana setiap 2 menit oksidasi dihentikan. Dari karakterisasi XRD diketahui untuk oksidasi 4 menit ditemukan dua fasa yakni TiC dan TiO₂sebagai residu. Dari hasil SEM-EDX teramati pesrsebaran unsur karbon, titanium dan oksigen pada lapisan yang berbeda serta diperoleh informasi bahwa oksigen mengoksidasi sampel dengan jalan menembus lapisan TiC secara difusi