Pengaruh Variasi Temperatur Uji ZEM-3 pada Properti Termoelektrik Lapisan Tipis Ti-doped ZnO

Abstract

Lapisan tipis Ti-doped ZnO berhasil difabrikasi pada substrat kaca SiO2 dengan menggunakan metode DC Magnetron Sputtering. Proses sputtering dilakukan dalam waktu 30 menit dan dengan tegangan sebesar 339-349 Volt. Lapisan tipis yang terbentuk memiliki ketebalan 241.287 nm. Uji properti termoelektrik dilakukan pada temperatur 310 K, 373 K, 423 K, 473 K, 523 K, 573 K, dan 623 K. Hasilnya, nilai resistivitas listrik lapisan tipis menurun hingga 523 K, dengan nilai resistivitas terendahnya adalah 0.446 ρ (mΩ m). Nilai koefisien Seebeck yang dihasilkan adalah minus menandakan bahwa lapisan tipis merupakan semikonduktor tipe n. Nilai koefisien Seebeck selalu meningkat seiring dengan pertambahan temperatur. Semakin tinggi temperatur yang diberlakukan pada material semikonduktor, maka makin tinggi pula faktor dayanya. Faktor daya paling tinggi terjadi pada temperatur 573 K dengan 32 µWm-1K2.

CC Licencing

Authors who publish with this journal agree to the following terms:
- Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.
- Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.
- Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).